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              又一突破!電科裝備已實現離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋

              發表于:2023-06-30 來源:半導體產業網 編輯:

              ?記者6月29日從中國電子科技集團獲悉,該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司(簡稱電科裝備)已實現離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋,有力保障我國集成電路制造行業在成熟制程領域的產業安全。

              研發人員正在調試離子注入機。中國電科供圖

              據悉,離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備,28納米則是當前芯片應用領域中覆蓋面最廣的成熟制程。電科裝備連續突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術,形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產品格局,實現了28納米工藝制程全覆蓋,切實保障中國“芯”的生產制造。

              據了解,作為國內最早從事離子注入設備研制及產業化的企業,電科裝備已具備從產品設計到量產應用的完整研制體系,產品涵蓋邏輯、存儲、功率器件、傳感器等工藝器件,百臺設備廣泛應用于國內各大集成電路先進產線,累計流片量超2000萬片,有力提升我國產業鏈供應鏈韌性和安全水平。

              (來源:科技日報)

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